VSA-M350
V3000-L700
V3000-L4000
V3000-W
カスタマイズ対応機
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超音波映像装置(SAT:Scanning Acoustic Tomograph)は. 超音波探傷法を用いて半導体ターゲット材、車体ボディーの材料などを映像(C-Scan)で可視化し、材料内部の欠陥を非破壊的に検査します。
VSA及びV3000シリーズは、高周波・高分解での検査が可能で、各種規格に対応しております。
・材料を水没して検査する場合 : V3000−LタイプとV3000−LRタイプ
・ウエハを水没して検査する場合 : V3000−Wタイプ
・セラミックチャックを水没して検査する場合 : V3000−Cタイプ
・探傷面を局部的に触水して検査する場合 : V3000−PタイプとV3000−PRタイプ
・電子走査式で且局部触水して検査する場合 : V3000−EPタイプとV3000−EPRタイプ
※最大走査範囲=4000mm×2000mm
スキャンサイズ、水槽、旋回測定・円筒/円柱回転測定、測定機能・解析機能、クリーン度クラスなどの、お客様の様々なニーズに合ったカスタマイズに対応いたします。
V3000−*xxxx 標準機一覧
型式 |
4000 |
2000 |
1000 |
700 |
400 |
走査範囲
(mm) |
4000x2000x30 |
2000x1000x300 |
1000x1000x200 |
650x600x200 |
320x320x80 |
周波数
(MHz) |
1〜30 |
1〜30 |
1〜500 |
1〜500 |
1〜500 |
探触子
(MHz) |
2,5,10,15 |
2,5,10,15 |
5,10,15,25,50,
75,100,125,200 |
5,10,15,25,50,
75,100,125,200 |
5,10,15,25,50,
75,100,125,200 |
本体寸法
(mm) |
5220x2700x1700 |
2900x1640x1340 |
1560x1520x1400 |
1260x1220x1400 |
780x900x1250 |
*:L, LR, W, C, P, PR, EP, EPR
xxxx:型式
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