VSA-M350 
                
              V3000-L700 
                
              V3000-L4000 
                
              V3000-W 
                
              カスタマイズ対応機 
                | 
              超音波映像装置(SAT:Scanning Acoustic Tomograph)は. 超音波探傷法を用いて半導体ターゲット材、車体ボディーの材料などを映像(C-Scan)で可視化し、材料内部の欠陥を非破壊的に検査します。 
               
              VSA及びV3000シリーズは、高周波・高分解での検査が可能で、各種規格に対応しております。 
              ・材料を水没して検査する場合 : V3000−LタイプとV3000−LRタイプ 
              ・ウエハを水没して検査する場合 : V3000−Wタイプ 
              ・セラミックチャックを水没して検査する場合 : V3000−Cタイプ 
              ・探傷面を局部的に触水して検査する場合 : V3000−PタイプとV3000−PRタイプ 
              ・電子走査式で且局部触水して検査する場合 : V3000−EPタイプとV3000−EPRタイプ 
               
              ※最大走査範囲=4000mm×2000mm 
               
              スキャンサイズ、水槽、旋回測定・円筒/円柱回転測定、測定機能・解析機能、クリーン度クラスなどの、お客様の様々なニーズに合ったカスタマイズに対応いたします。 
               
              V3000−*xxxx 標準機一覧 
              
                
                
                
                  
                    | 型式 | 
                      4000 | 
                      2000 | 
                      1000 | 
                     700  | 
                     400  | 
                   
                  
                    走査範囲 
                    (mm) | 
                    4000x2000x30 | 
                    2000x1000x300 | 
                    1000x1000x200 | 
                    650x600x200 | 
                    320x320x80 | 
                   
                  
                    周波数 
                    (MHz) | 
                    1〜30 | 
                    1〜30 | 
                    1〜500 | 
                    1〜500 | 
                    1〜500 | 
                   
                  
                    探触子 
                    (MHz) | 
                    2,5,10,15 | 
                    2,5,10,15 | 
                    5,10,15,25,50, 
                    75,100,125,200 | 
                    5,10,15,25,50, 
                    75,100,125,200 | 
                    5,10,15,25,50, 
                    75,100,125,200 | 
                   
                  
                    本体寸法 
                    (mm) | 
                    5220x2700x1700 | 
                    2900x1640x1340 | 
                    1560x1520x1400 | 
                    1260x1220x1400 | 
                    780x900x1250 | 
                   
                
               
              *:L, LR, W, C, P, PR, EP, EPR 
              xxxx:型式 
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